二手 BROOKS AUTOMATION Backbone-VTS #9281505 待售

BROOKS AUTOMATION Backbone-VTS是一款高級晶圓處理程序,專為高精度、高速自動晶圓處理而設計。該設備能夠處理各種晶圓尺寸，從8英寸到12英寸晶圓。憑借其強大的設計和強大的組件，系統能夠實現高吞吐量和可靠性。Backbone-VTS利用機械臂和可靠的晶圓運動控制,旨在保持極高的精度。每個手臂都牢固地安裝在其支撐結構上，並通過一套全面的控制裝置操作。該單元使用固態直流伺服控制器進行晶片載波電機運動。控制器允許在廣泛的晶圓大小、運動和位置上快速準確地改變運動速度。該機具有兩臺獨立的高扭矩步進電機，能夠實現亞微米定位和精確的晶片與處理器對準和控制。除了機械部件外,該工具還包括智能控制資產。該模型包括各種傳感器，用於檢測晶片的大小和方向，以及測量盒式磁帶內部的環境條件。控制器被編程為控制機器人手臂的運動，運行晶圓運輸程序，協調多個晶圓傳輸，跟蹤晶圓的位置和狀態。控制器還能夠識別錯誤並自動啟動糾正操作。BROOKS AUTOMATION Backbone-VTS具有全面的設備體系結構,旨在提供卓越的性能。它的模塊化設計允許用戶定制系統以滿足他們的特定需求。該單元包括了廣泛的軟件包，如高速處理程序管理軟件和功能齊全的處理程序調試軟件。機器還支持不同類型的行業協議，允許機器與其他設備直接集成。Backbone-VTS是可用的功能最強大、效率最高的晶圓處理程序之一。它堅固可靠的設計、精確的晶片與處理程序對齊以及全面的軟件包,使其成為需要高吞吐量、高精度和高可靠性的應用程序的理想選擇。憑借其全面的特性和性能,它是滿足自動晶圓處理需求的完美解決方案。