二手 BROOKS AUTOMATION Backbone #9294028 待售

BROOKS AUTOMATION Backbone是一種晶圓處理器，是半導體製造商用來傳輸和處理半導體晶圓的一種科學儀器。晶圓處理程序的主要目的是使晶圓的運輸和加工自動化，從制造的一個階段到制造的下一個階段，用最少的人工幹預。骨幹是一種全自動晶片處理設備，旨在使半導體晶片在加工步驟之間運輸，並在延長加工運行期間儲存晶片。其核心是BROOKS AUTOMATION Backbone由一系列用於制造過程中轉運和儲存晶片的傳輸機制和腔室模塊組成。傳輸機制用於將晶片從輸入模塊移動到指定的處理模塊，而腔室模塊充當系統內的物化點。每個模塊的設計都是為了保持特定的壓力、溫度、環境和清潔度要求，例如動態清潔或對大氣進行預調理以進行精細處理。骨幹還配有傳感器，用於測量機組的狀況，例如壓力和溫度。為了確保準確和安全的交付,BROOKS AUTOMATION Backbone設計了先進的運動控制系統,可提供精確控制和安全措施。這對於晶片載流子確定它們在正確的方向上準確移動是必要的，載流子之間沒有接觸，載流子在處理晶片時要小心，沒有任何損壞。骨幹還支持各種類型的晶圓載波，如200mm、300 mm、tappered和其他定制尺寸。也有適用於高溫過程的載體。該機器還可以通過軟件輕松調整和修改不同的晶圓尺寸。總體而言,BROOKS AUTOMATION Backbone是一種可靠和復雜的晶片處理工具,可提供安全、精確和高效的晶片運輸和存儲。它簡化了手動操作，並允許可控制真空的重復爐過程，以及晶片在這些過程步驟中的精確移動。它是從大批量生產到研發等各種晶圓處理應用的領先選擇。