二手 BROOKS AUTOMATION DBM 2406-V2 #9015227 待售
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BROOKS AUTOMATION DBM 2406-V2是一種晶圓處理設備,旨在為制造商、半導體器件制造商和研發實驗室提供可靠的晶圓傳輸和生產。該系統由一個基於輸送機的晶圓處理程序、一個晶圓穿梭器和一個用於精確、可重復晶圓處理的兩軸機器人臂組成。輸送機采用基於視覺的定心機設計,能夠以每秒300毫米的速度定位、跟蹤和定位一個或多個晶片,同時保持高精度精度和可重復性。晶圓穿梭機采用專有的超低調設計,允許以最大吞吐量速率高效裝卸多個晶圓盒式磁帶。雙軸機器人臂設計用於晶圓的精確、可重復的拾取和放置。DBM 2406-V2晶片處理程序可以使用多種晶片尺寸,能夠測量每個晶片在其中心點15 µm以內,並相應調整其速度。它設計用於在蒙太奇操作中處理高達600mm或高達300 mm的過程中保持高精度和可重復性。此外,晶片處理程序能夠同時處理不同類型的晶片,如矽、發光二極管(LED)和玻璃,而不會犧牲性能。BROOKS AUTOMATION DBM 2406-V2晶片處理器非常適合任何需要輸出具有可靠生產率的精確、可重復晶片的半導體制造設施。該工具基於輸送機的晶圓處理程序、晶圓穿梭器和雙軸機器人臂設計為提供盡可能高的吞吐量和精度,同時保持低擁有成本。此外,晶片處理設備還具有安全功能,如緊急停止按鈕和互鎖模型,以確保晶片和設備操作人員的最高安全性。
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