二手 BROOKS AUTOMATION DBM 2406 #293751006 待售

BROOKS AUTOMATION DBM 2406晶圓處理器是專門為半導體、數據存儲和其他先進行業設計的精密自動化晶圓處理系統。此晶片處理程序能夠將直徑從150-200 mm FOUP/Tube/Cassette的200 mm以下的晶片加載和卸載到處理托盤或盒式磁帶字段。它可以運送高度高達1.5m的晶片。BROOKS AUTOMATION DBM-2406具有兩個獨立且直觀的機械臂,它們可以以每小時800個晶圓的速度從運輸托盤裝卸晶圓盒式磁帶。機械臂的設計是旋轉晶片卡帶高達180度，無需任何調整或額外的硬件。用戶還可以根據所處理的晶圓或盒式磁帶的類型,為每個機械臂配置真空吸盤尖端或機械夾具樣式。每個機械臂由一個強大的伺服電機驅動，該電機便於精確和精確地處理晶圓盒式磁帶，高精度± 0.2mm。伺服電機各由提供高速、高扭矩和低延遲的Delta伺服驅動器提供動力。DBM 2406具有集成的圖形用戶界面（GUI）和用戶友好的觸摸屏顯示器。這允許用戶編程和調整對過程精度至關重要的速度、加速度和力參數。此外,GUI還允許用戶輕松診斷操作過程中可能發生的任何故障或錯誤。DBM-2406采用堅固的鋁鋼框架,即使在最苛刻的環境中也能提供最大的耐用性和可靠性。它還具有獨特的安全系統，保護人員和設備免受任何潛在危害。這一安全系統確保機器人手臂不會碰到任何可能導致設備或人員受損的外部物體或意外障礙物。BROOKS AUTOMATION DBM 2406非常適合在半導體和數據存儲等行業中要求精確處理晶圓盒的應用。BROOKS AUTOMATION DBM-2406易於配置、直觀的用戶界面和安全系統,是任何希望簡化其生產過程的工廠的寶貴資產。