二手 BROOKS AUTOMATION E40001182 and E19013780 #57120 待售

ID: 57120
晶圓大小: 12"
Lot of 2 fixloads For the VARIAN VIISion / VIISta systems Fixload 25/V5, 12" Brooks Fixload V6 Loadport, 12" Crated.
BROOKS AUTOMATION E40001182 EChanger和E19013780 EChanger是兩個專門為半導體和光電器件加工而設計的晶圓處理器。這些高性能機器提供自動晶片處理、熱管理和檢查功能,以實現最大的吞吐量和提高設備產量。EChanger設計用於將晶片從其存儲位置移動到處理站。機器的主要部件包括主框架、伺服電機、驅動單元和航天飛機。主框架由兩個主支撐和一個容納伺服電機、驅動單元和其他組件的中央框架組成。伺服電機負責航天飛機和相關模具的對準、平移和旋轉。驅動單元由一個電機、變速箱和一個控制器組成,負責設備的同步、定時和控制。EChanger可以通過一系列運動模式傳輸各種晶圓大小和重量。該機采用精密運動劃線、熱能剖面儀和掃描場調節,確保晶圓處理準確。該機設計用於保持晶圓平坦度,處理高達200多個晶圓的盒式磁帶,並在處理過程中提供實時熱管理。EChanger具有安全的工作環境安全功能。它有一個安全互鎖系統,以防止航天飛機意外激活,並且在發生緊急情況或用戶錯誤時還配有緊急停止按鈕。它還有一個緊急斷電開關,用於在緊急情況下關閉設備。EChanger還具有防塵和防潮功能,以確保清潔的操作環境。除了EChanger的晶片交接功能外,E19013780 EChanger還配備了一個檢測站,可讓操作員查看晶片並檢查設備的狀況。這包括高精度CCD相機、車載照明機以及超清、對比度保護、雙圖像跟蹤三項先進圖像處理技術。這些特性為準確的產量分析和設備表征提供了更高的準確性和可重復性。BROOKS AUTOMATION EChanger提供了可靠高效的晶圓處理解決方案。由於它具有伺服電機、驅動單元和精密運動劃線技術等特點,它允許晶圓的最大吞吐量和精確對準。它還配備了包括檢測站和實時熱管理功能在內的其他功能,使其成為半導體和光電器件加工的理想之選。
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