二手 BROOKS AUTOMATİON EFEM #293600201 待售

ID: 293600201
晶圓大小: 12"
System, 12".
BROOKS AUTOMATİON EFEM是專門為基於工廠的自動化環境設計的晶圓處理設備。它為用戶提供了在工業生產過程中處理晶片的可靠、高速和低維護解決方案。該系統采用傘狀機器人手臂,在生產過程中將晶片從一個工作站安全準確地傳輸到另一個工作站。機器人手臂利用氣動驅動的直線執行器和高度精確的電機,以方便無縫和受控的運動。機器人臂連接到一個由一系列聯鎖的方形截面組成的龍門架安裝鋼框架,這些截面以方格形式連接在一起。這個堅固的框架提供了支持機器人運動所需的結構完整性。EFEM單元還具有允許微調和優化晶圓處理過程的高級軟件。該軟件具有用戶定義的復雜算法和參數,使機器人臂能夠實時響應生產環境的變化。可以方便地修改機器人的運動模式,以適應不同的晶圓大小和形狀。機器的模塊化設計也意味著可以很容易地添加額外的組件,以提高自動化效率和多功能性。例如,可以將多個機器人臂連接到同一個幀上,允許同時進行晶圓傳輸。此外,還可以安裝各種不同的晶片插座,如板式托盤、籃子和托盤,使用戶能夠根據其生產過程的具體需要靈活地配置工具。綜上所述,BROOKS AUTOMATİON EFEM是一種可靠且用途廣泛的晶圓處理資產,它為工業用戶的生產過程提供了高效、經濟高效且高度可靠的解決方案。由於其用戶友好的軟件,易於安裝和組件的靈活性,它是一個非常適合廣泛的晶圓傳輸應用的選擇。
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