二手 BROOKS AUTOMATİON EFEM #9358219 待售

BROOKS AUTOMATİON EFEM是一種高性能晶片處理程序,旨在在廣泛的工廠自動化和材料處理應用中精確、快速地移動和處理精細的晶片和組件。它是一種多用途、高通量的機器，允許晶片以受控和安全的方式在不同的進程之間移動。Brooks EFEM晶圓處理器是一種模塊化的自動化設備，由伺服電機、運動控制器、機器人臂、手動轉運車或這些的任意組合組成，以控制晶圓的運動。機器人臂是系統的關鍵部件，配置為可滿足特定的應用要求。這種靈活的單元允許各種晶圓處理配置,這些配置涵蓋了廣泛的應用,包括精密晶圓處理和傳輸、裝配操作、機器加工和半導體制造。機器人臂設計用於處理直徑達450mm的晶片。它配備了一個徑向執行器來精確控制晶片相對於臂的角度方向和BROOKS AUTOMATİON EFEM的基座。這種設計允許在不同的特殊過程之間移動和處理晶片時保持一致的高精度角度。機器人臂還具有集成的晶片夾緊機，並且為了優化性能，有一個「啟動停止」操作，它允許機器人臂停止，其狀態記憶按照應用需要精確定位晶片。該機器人與攝像機相結合，用於視覺引導和精確的晶圓對準。Brooks EFEM能夠在工藝之間精確傳輸晶片,速度高達300 mm/sec。它也有一個標準的命令集來控制機器人和/或其附件的操作。其高精度和高速度降低晶圓處理時間，直觀的控制程序保證準確性。Brooks BROOKS AUTOMATİON EFEM是當今市場上最可靠的晶圓處理系統之一，因為它具有高性能的元件和質量的構造。最後,EFEM是一種有效的晶片處理程序,它設計用於在各種工廠自動化和材料處理應用中精確、快速地移動和處理精細的晶片和組件。它的模塊化設計和靈活性使得它更有利於涉及高度精確角度和運動的應用。它也是當今市場上最可靠的晶圓處理系統之一，因為其高性能的元件和構造。它是滿足大多數自動化工廠環境需求的理想工具。