二手 BROOKS AUTOMATION FabExpress #293798433 待售
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ID: 293798433
Robot
Assy, 8"
JET
Active Edge Grip (AEG)
Robot mounting assembly
4-Axis razor robot
Razor aligner, 8"
(2) Vision LPM with mapping, 12"
Aligner
Controller
FFU.
BROOKS AUTOMATION FabExpress晶圓處理程序是專門為半導體行業設計的自動化傳輸模塊。它用於在半導體制造過程中在加工設備之間移動晶片，如光刻工具、CVD工具、蝕刻器和濕板凳。晶圓處理程序能夠以高達每小時12個晶圓的速度傳輸直徑達200毫米的晶圓。它可以在壓力或真空水平下操作，以保持對晶圓處理的嚴格過程控制。FabExpress具有高精度晶圓切丁模塊,旨在為晶圓處理提供可靠的性能。切割模塊允許精確的微調調整,從而實現晶圓的精確傳輸。該模塊還擁有高速攝像機設備和內置激光檢測系統，以確保切割過程的準確性。提供了一個可編程視覺單元，簡化了晶圓處理程序的設置和操作。BROOKS AUTOMATION FABexpress晶片處理程序利用伺服電機和氣動執行器的組合，在加工設備之間快速準確地傳輸晶片。它還包括一個帶有可編程邏輯控制器（PLC）的運動控制單元，以提供精確的運動控制。運動控制單元可用於同步多個進程以提供高效的操作。該晶片處理程序配備了精密的光學機械系統，以確保晶片的精確、不重叠的傳輸。它有一個集成的真空室，可以精確地操縱腔內的晶片。這種真空室設計有一個集成的機械臂精確的處理和可重復性。晶片處理機配備了一種自動視力檢查晶片的機器，超過了市場上大多數自動化晶片處理機。它有廣泛的可用檢查選項，包括原位視力檢查，使操作員能夠確認晶圓質量，而不必從工具中移除。FabExpress是一款高度可靠的晶圓處理程序,可提供出色的處理精度和可重復性。它具有先進的安全功能,如傳感器和聯鎖,以實現最大程度的過程控制和可靠性。此晶圓處理程序設計為全天候運行,且停機時間最短。它還附帶了服務、維護和部件包,以確保最佳的性能和最小的中斷。
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