二手 BROOKS AUTOMATION Fixload 6 #293626364 待售

BROOKS AUTOMATION Fixload 6是一款為半導體制造而設計的高性能、全自動晶圓處理程序。Fixload 6可以處理直徑從100毫米到300毫米不等的晶圓，由一個主控制單元和用於晶圓放置和傳輸的動力轉盤組成。它包括先進的多通安全設備，配有雙鎖安全門、密碼保護和內置傳感器，用於監控和保護正在處理的晶片。此外,系統還采用晶片傳輸模塊（WTM）,將晶片引導到目標站點,而Intelliflow （TM）自適應實時控制技術不斷調整和校正晶片路徑,以最大限度地提高吞吐量和效率,並確定何時需要停止晶片以防止晶片損壞。健壯的BROOKS AUTOMATION Fixload 6還具有完整的可追蹤性功能,包括實時配方管理、日誌級別的準確性以及跟蹤晶圓從頭到尾的整個生命周期的晶圓中心跟蹤（TM）。異常報告允許操作員快速識別任何問題並建議糾正措施。該機由運行在FPGA上的高速控制器提供動力，以及用於精確和恒定晶圓放置的高精度、超精確、三軸壓電執行器。Fixload 6包含多種安全和警報功能，包括互鎖開關、故障檢測和報告以及緊急停止邏輯。BROOKS AUTOMATION Fixload 6采用3級或4級晶片傳輸和高傳動、低扭矩傳輸心軸,旨在提高晶片吞吐量,同時提供高精度和高精度。由於其用戶友好的界面和高水平的自動化,它還允許快速、輕松地進行設置和維護。最終的結果是高速、可靠、精確的晶片處理，產量最好。