二手 BROOKS AUTOMATION Fixload 6M #293635521 待售

ID: 293635521
優質的: 2005
Load ports P/N: 013096-081-20 2005 vintage.
BROOKS AUTOMATION Fixload 6M是一款晶圓處理程序,旨在促進半導體制造中單位大小晶圓的高產加工。這種多用途、單盒式、多維晶片處理程序專門設計用於提供最小負載鎖定和機器人過渡,以實現無縫、高效的吞吐量。Fixload 6M集成了高速雙軸機器人、精確的微氣門定位器和優化的雙端小瓶夾持器。機器人和抓手都有圓形軌跡,轉彎較寬,以最大程度地減少機器人的位置時間,並最大限度地提高機器人對其他過程的可用性。該機器人設計用於將晶片從晶片盒式磁帶移動到加載鎖、小瓶或其他處理階段,並具有無菌操作和小腳印。微型閥門定位器獨立於機器人工作,將其柔性噴嘴精確地保持在目標上,以減少工作量。此集成系統支持高吞吐量操作,且處理錯誤最小。該機器擁有一整套接口選項,與各種工藝設備兼容。BROOKS AUTOMATION Fixload 6 M能夠與不同品牌的現有設備以及BROOKS AUTOMATION全套先進技術集成。易於使用的運動規劃軟件還可以確保自動化、維護和監控都是在人工幹預最少的情況下進行的。Fixload 6M的集成設計使晶圓處理速度更快、更一致。優化後的雙端小瓶夾持器能有效地傳輸各種尺寸和位置的多個晶片,而機器人和微氣門定位器的並聯運動提供了更高的精度和可靠性。這加上最小的負載鎖定和機器人過渡,導致了平穩和無錯誤的處理。BROOKS AUTOMATION Fixload 6M配備了多種安全功能,以實現長期可靠性。多個安全系統包括為機器操作員和機器人提供保護,從而降低了損壞和傷害的風險。此外,該機器還具有多種內置診斷功能,可提供快速、準確的故障排除,以最大限度地提高正常運行時間並減少整個系統的停機時間。Fixload 6M是尋求提高生產產量、降低成本和提高安全性的半導體設施的理想選擇。憑借其先進的設計、集成的技術和多用途的接口選項,這款晶圓處理程序是希望實現高水平卓越的設施的理想選擇。
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