二手 BROOKS AUTOMATION Fixload 6M #293800213 待售

BROOKS AUTOMATION Fixload 6M是一款先進的基於機器人的單晶圓處理程序,旨在在工藝工具之間提供可靠、高效的晶圓傳輸。它是在各種晶圓加工過程之間處理和轉移所有晶圓類型的理想解決方案，如蝕刻、光刻和沈積。Fixload 6M是完全自動化的,與多種工藝工具協同工作。它可以處理範圍廣泛的基材尺寸，直徑從2英寸到12英寸不等。BROOKS AUTOMATION Fixload 6M利用雙臂機械機構與端效應器在真空封閉的晶片拾取環境中傳輸晶片。它還具有陽極氧化鋁框架，具有優異的熱和振動穩定性，減少沖擊和振動效果，以確保準確性和可重復性。機器人的主電機驅動由伺服控制器供電，使機器人能夠精確控制機器人手臂的運動和旋轉。Fixload 6M配備了分辨率控制的視覺設備，使其能夠精確定位和瞄準物體。對視覺系統進行了優化，以最大程度地減少誤載統計和快速重定目標誤載。它還使晶圓分選能夠減少汙染。該單元還具有自動離散點掃描和線掃描技術，用於檢測晶圓表面的針孔、表面缺陷和顆粒汙染。BROOKS AUTOMATION Fixload 6M提供卓越的吞吐量速度和準確性,而不犧牲質量控制。其自動清洗功能和車載電源管理確保了高質量清潔晶片的傳輸。其全面的數據跟蹤和報告機器記錄關鍵的測量，以確保可追蹤性，這有助於過程故障排除。此外,Fixload 6M還提供各種用戶友好的功能,例如清晰的零件跟蹤和對氣瓶和顆粒陷阱等耗材的實時報警。該軟件允許用戶快速編程更改、設置配方和開發可定制的工廠報告。服務中心提供維修和維護服務,確保BROOKS AUTOMATION Fixload 6 M按預期執行。總體而言,Fixload 6M是一款先進、可靠且高效的晶圓處理程序,經過優化,可提供一致的性能,同時提供低誤載統計數據以及卓越的吞吐量和質量。其強大的特性和設計使BROOKS AUTOMATION Fixload 6M成為半導體行業最佳的解決方案。