二手 BROOKS AUTOMATION Fixload V6 #293634036 待售

BROOKS AUTOMATION Fixload V6是一款晶圓處理程序，設計用於在批量半導體制造過程中實現晶圓裝卸自動化。它允許在單個過程中高效和半自動地加載和卸載晶片。這樣可以在單個運行中處理大量晶片,並減少處理時間。Fixload V6使用Flexible Pod設備，可以容納多種晶圓尺寸，包括6英寸和8英寸圓形晶圓。柔性吊艙系統被設計為與其他系統兼容，例如晶圓處理系統，並且易於配置，允許處理特定的晶圓大小。該單元使用集成的真空晶片轉換機將晶片送入和送出加工平臺，並使用定位和定向系統精確對準晶片進行加工。此外,該工具可以配置為自動檢測未對準並中止該過程,從而防止晶片和加工設備損壞。BROOKS AUTOMATION Fixload V6有一個高效的過程控制器和一個功能齊全的圖形界面，以確保所有晶圓過程的平穩和安全操作。控制器可用於控制晶圓冷卻、烘烤、氧化等多個晶圓處理任務，以及監控過程變量。還可以將資產配置為根據處理過程中的測量結果自動調整流程參數。這是為了優化加工條件，防止由於非最佳條件對晶片造成任何損壞。Fixload V6具有保護模型和晶片免受汙染和其他環境因素的安全設計。它有一個安全的訪問設備和一個內置的聯鎖系統，以防止意外單元故障。此外,BROOKS AUTOMATION Fixload V6還包括跟蹤系統,用於監視和記錄所有流程事件並檢測任何錯誤。這樣做的目的是使計算機在出現任何問題時更容易進行調試和故障排除。Fixload V6是一種用戶友好可靠的晶圓處理工具。它旨在提高晶圓加工在半導體制造過程中的效率和生產率。