二手 BROOKS AUTOMATION Fixload V6 #9056693 待售

BROOKS AUTOMATION Fixload V6
ID: 9056693
Load port.
BROOKS AUTOMATION Fixload V6是由BROOKS AUTOMATION開發的下一代高性能晶圓處理器。該處理程序旨在減少晶圓的產生並最大限度地提高晶圓處理的吞吐量。Fixload V6用於將晶片運輸和裝載到加工室和其他組件中。BROOKS AUTOMATION Fixload V6由四個主要組件組成-穿梭設備、手臂、安全系統和驅動機構。穿梭裝置用來將晶片定位在正確的方向,然後通過插入到適當的模具中來加載。手臂用來牢牢地握住晶片,以精確的模式移動。該安全機器旨在確保所有晶片的處理安全。最後,使用驅動機構為手臂和穿梭器的運動提供動力。Fixload V6能夠手動和自動加載和卸載晶片。在手動模式下,用戶可以控制手臂的運動進行精確的晶圓處理。在自動模式下,用戶可以設置要加載的晶圓數量、晶圓移動速度、晶圓大小等某些參數。這使得快速準確地將多個晶片加載到多個腔室或其他組件中成為可能。BROOKS AUTOMATION Fixload V6還被設計為極其可靠和堅固。它采用獨特的離心力式驅動,以減少元件磨損,並允許延長使用壽命。此外,Fixload V6在高達310°C的低溫下運行,這有助於最大程度地減少粒子的總生成。BROOKS AUTOMATION Fixload V6是晶圓處理的絕佳選擇,提供可靠性、魯棒性和低粒子生成。它專為最大吞吐量和精確移動而設計,允許用戶快速準確地處理晶片。此外,它的低溫操作有助於延長壽命和減少粒子生成。
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