二手 BROOKS AUTOMATION Guardian #9018585 待售

BROOKS AUTOMATION Guardian
ID: 9018585
Reticle indexer, Asyst, INXR150 Integrated SMIF port and cassette indexer Designed to mount directly to process tool.
BROOKS AUTOMATION GUARDIAN是用於敏感半導體設施的先進晶圓處理器。它設計用於處理和存儲六個標準的25mm或50mm晶片,插入直徑為300或460mm。Guardian的設計目的是為敏感晶片提供最大程度的保護,同時提高吞吐量。BROOKS AUTOMATION GUARDIAN包含多種保護晶片完整性的功能。晶片經過環境密封,以防止灰塵汙染,各種傳感器檢測晶片位置或溫度的任何變化,提醒操作人員可能的危險。加強與外部環境的隔離有助於減少靜電荷。外部電源進一步防止任何可能損壞組件的浪湧。設備的靈活性允許自動和手動操作處理程序。它配備了基於配方的半自動平臺,簡化晶圓交換和交付。Guardian具有適應各種晶圓大小和工藝溫度的能力,允許運行各種工藝。在性能方面,BROOKS AUTOMATION GUARDIAN采用快速、精確的運動控制系統,可提供高達每秒24軸的運動速度,從而減少晶圓傳輸時間並提高吞吐量。控制單元連接了先進的視覺攝像頭和掃描系統,允許測量晶片地形,這有助於驗證單個晶片的正確處理。總體而言,對於尋找能夠處理敏感晶片並服務於各種行業的新型晶片處理程序的客戶來說,Guardian是一個理想的選擇。這種晶片處理程序為晶片的輸送和交換提供了可靠的保護和更快的速度,以及在不同晶片尺寸和工藝溫度下工作的靈活性。先進的運動控制機和照相機及掃描系統有助於提供安全的晶圓處理和加工驗證。
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