二手 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed II #293755994 待售

ID: 293755994
優質的: 2001
Loader 2001 vintage.
BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed II晶圓處理程序是一種自動化晶圓處理設備,旨在最大限度地提高吞吐量,同時減少汙染。它具有一個機器人機制,能夠精確地在盒式磁帶存儲箱、處理和處理站以及其他組件之間移動晶圓載體。JENOPTIK Ergospeed II能夠高速生產和裝載,同時仍提供一個潔凈室友好的環境。BROOKS AUTOMATION Ergospeed II利用基於真空的原理進行晶圓傳輸。該方法采用真空吸力和沿三軸跟蹤的精確運動控制相結合的方法,在元件之間精確移動晶圓載流子。閉環運動控制系統結合專門設計的晶片載波,確保晶片始終對準和安全,降低晶片損壞和汙染的風險。Ergospeed II的另一個特點是其集成的ESD控制單元。這臺機器為塗層和真空系統提供內置的隔離保護,有助於防止ESD事件發生。這樣就不需要昂貴的電離器或其他外部ESD設備。該工具還可以適應定制應用,例如模具粘合,並且設計為與各種其他晶圓處理設備配合使用。閉環運動控制資產使操作員能夠設置預定參數,以實現晶圓載波的快速準確傳輸。BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed II是一款堅固可靠的晶圓處理器,為高通量操作提供了靈活性和低汙染級別。其真空傳輸過程確保晶片載體安全和清潔室友好,而其集成的ESD控制模式進一步有助於消除潛在的汙染。結合其適應定制應用的能力,JENOPTIK Ergospeed II是需要速度和精度的晶圓處理操作的理想選擇。
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