二手 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed II #9093060 待售

BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed II是一款高性能晶圓處理程序,專為單側和雙側基板應用而設計。它提供了多種功能,旨在提高效率和安全性,實現盡可能最佳的吞吐量速率。其電動基板平移設備使用精密控制的電機，與手動系統相比，能夠使用更快、更動態的運動。它還采用了優化的策略來減少死亡時間,從而最大限度地減少周期時間。JENOPTIK Ergospeed II提供高吞吐量速度,並且由於全機械設計而不會停機。其先進的伺服驅動器與無刷電動機相結合,可實現最高效、最精確的運動,而內部電子系統增強的8區外部位置傳感則可確保平穩、精確的運動控制。BROOKS AUTOMATION Ergospeed II配備了先進的雙負載端口單元，具有提供最高精度和可靠性的雙抓地力電極。雙頭機器人配備了兩個可獨立控制的主軸頭，以確保精確的基板采摘和放置。Ergospeed II擁有一臺集成的機器人安全機器，可從控制工具環境中訪問所有安全組件、聯鎖和聯鎖矩陣。它還包括自動校準所有晶圓載荷位置的自動校準資產和協助校準和發現不準確的視覺模型。BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed II設計為用戶友好且操作直觀。其用戶友好的界面和圖形表示使得它易於監測和控制基板處理以及跟蹤整個設備中晶片的狀態。它還具有專用的工作流程,用於操作,如基板加載、從插座到處理區域傳輸,以及艙口和攤位打開。總體而言，JENOPTIK Ergospeed II是高精度、高通量晶圓處理的絕佳選擇。它結合了先進的機器人系統、安全系統、校準系統和直觀的用戶友好界面，使其成為任何實驗室或生產設施的絕佳選擇。它的準確性和可靠性使得它成為一個經濟高效的解決方案，以滿足所有晶圓處理需求。