二手 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed II #9280737 待售

BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed II是一種高速晶圓處理器，旨在自動化晶圓處理應用。它與工業標準晶片尺寸相容，直徑從100毫米到300毫米不等，允許廣泛的應用。JENOPTIK Ergospeed II利用先進的電機技術，確保晶圓的精確一致處理，從而最大限度地縮短加工時間，提高產量。BROOKS AUTOMATION Ergospeed II專為滿足晶圓裝卸系統的要求而設計。載荷端口設計為支持單面晶片載荷，以及允許雙面晶片載荷或卸載。它還具有廣泛的過程中視覺檢查能力，如紅外和紫外線成像，以及物體識別。此外，可以使用車載視覺設備實現自動對準和對準校正。Ergospeed II具有集成的晶片定向系統，允許在單元中精確放置晶片。該機利用兩個垂直照相機系統產生360度的晶片圖像，允許晶片識別和進一步的晶片處理。此外,晶圓對準工具可以將晶圓精確地安裝到加工室內。BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed II配備了集成的高性能驅動電機,提供精確的運動控制和靈活性。該資產專為高速運行而設計，可提供快速一致的晶圓處理，最大速度高達200毫米/秒。高分辨率的動態驅動模型在控制抖動和振動的同時也提供了平滑的運動。在安全性方面，JENOPTIK Ergospeed II包含了一系列安全特性，以保護晶圓操作員不會意外接觸機器。這些功能包括設備操作過程中的互鎖設備，以及防止意外接觸的安全罩。此外，還包括緊急停止系統。總體而言,BROOKS AUTOMATION Ergospeed II是一款高度先進的晶圓處理程序,旨在使晶圓處理應用程序自動化。其先進的電機技術確保了晶圓的精確和一致的處理,最大速度可達200 mm/s。集成的安全功能進一步確保了晶圓操作員的保護。憑借其廣泛的能力，該單元是高速晶圓加工的理想選擇。