二手 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed II #9280738 待售

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BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed II
已售出
ID: 9280738
SMIF Loading system SLR 200 LPTSM/R.
BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed II是一種用於半導體晶圓處理的自動化晶圓處理程序。該系統旨在方便晶片在各種半導體晶片加工工具之間的加載、卸載和運輸。JENOPTIK Ergospeed II旨在最大限度地減少操作員的幹預,從而消除了以前晶圓處理系統所需的大量體力勞動。BROOKS AUTOMATION Ergospeed II采用專有的位置執行器,與計算機控制的晶圓級協同工作。這種組合使得處理程序能夠在沒有外部幹擾的情況下精確精確地移動晶片。Ergospeed II可以與各種類型的晶圓處理工具接口,包括分選器、鋸、磨床、拋光器、旋轉塗層和光電探測器。BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed II具有晶片盒和存儲托盤,使處理程序能夠同時執行加載、卸載和晶片傳輸操作。它還配備了晶片對準機構,利用激光成像系統確保晶片被正確定位,防止晶片表面積和處理程序內部部件之間的接觸。JENOPTIK Ergospeed II一次操作最多可處理200個晶圓,進一步縮短了處理時間。它也能夠在密閉的工作空間下運作,使得它甚至適用於地板空間有限的實驗室。此外,它的模塊化設計降低了與維護和維修相關的成本,允許用戶快速訪問和更換處理程序的某些部件,同時保持其他組件不受影響。總體而言,BROOKS AUTOMATION Ergospeed II是一款精心設計的自動化晶片處理程序,可提供精確的移動和可靠的操作。該系統減少了處理時間,提高了安全性,非常適合地板空間和資源有限的實驗室。
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