二手 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed II #9280740 待售

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BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed II
已售出
ID: 9280740
SMIF Loading system SLR 200 LPTM/L.
BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed II是一款高效可靠的晶圓處理器,用於半導體生產。它專為處理直徑8至300毫米晶片的生產線而設計。它的自動化處理過程允許在半導體生產環境中在工藝步驟之間準確一致地傳輸晶片。JENOPTIK Ergospeed II使用兩軸機械臂和鉸接式臂設計,在其原始位置和機器人處理或存儲站之間高效傳輸晶片。手臂可以處理一個長達8公斤(17.6磅)的晶片或多個長達30公斤(66磅)的晶片。晶圓運動與生產線的其余部分通過可編程邏輯控制器進行控制和同步。手臂的運動可以調整到精確適合晶片,保護其免受損壞。BROOKS AUTOMATION Ergospeed II通過使用成像儀相機將晶片定位在所需的精確角度、旋轉和位置,實現自動預對準。此自動化系統消除了手動調整,並降低了人為錯誤的風險。晶圓尺寸通過自動對齊過程自動識別並相應調整。在各站之間傳輸晶片時,臂盡可能靠近轉運站,降低晶片汙染的風險。晶片還牢牢抓住兩側,以確保安全傳輸。通過內部數據記錄器監控每次傳輸的精度,該記錄器記錄整個過程,並為每次傳輸提供詳細的審核跟蹤。Ergospeed II旨在確保生產過程中的高吞吐量和準確性,並提供直觀的用戶界面。該系統包括駕駛軟件、維護工具和安全系統等多種支持組件,以確保處理程序在峰值性能下運行。JENOPTIK設計了BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed II晶片處理程序,以支援高效率、高通量的生產線。其自動化的處理過程和高效的設計提供了可靠和一致的晶片轉移與汙染或損壞的風險最小。這確保了高效可靠的半導體生產過程。
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