二手 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed II #9280753 待售

BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed II是一款高性能晶圓處理器，旨在為生物醫學和半導體應用提供精確可靠的晶圓傳輸和操作。JENOPTIK Ergospeed II晶片處理程序是一種自動化的機器人設備,能夠傳輸、對準和分類精度小於1 μ m的半導體晶片,速度超過每小時2000個晶片。機器人的平臺可配置最多容納三個晶片，最大負載為15公斤，用於高容量生產應用。BROOKS AUTOMATION Ergospeed II的車架由陽極氧化鋁制成，帶有碳纖維復合機械臂，可實現五軸運動，提供了廣泛的復雜運動。機器人配備了改進的Delta PLC運動控制器和伺服驅動的線性執行器。這樣可以確保快速的加速和減速時間,從而實現更快的晶圓操作。機器人還具有視覺系統，通過自動拾取晶片上的標記，機器人可以快速準確地定位晶片。視覺系統進一步用於缺陷檢測，可用於高級晶圓處理中的其他自動化任務。Ergospeed II還為可靠的操作提供了各種安全功能,例如端站檢測系統、過載保護和運動範圍的可編程限制。這樣可以確保機器人不會過度移動,並對晶圓或機器本身造成任何損壞。機器人最大速度1.5 m/s，最大工作空間600 mm。這款晶圓處理器是一款緊湊、節能、經濟實惠的解決方案，適用於許多生物醫學和半導體應用。BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed II為大容量晶圓處理操作提供了廣泛的運動、快速和精確的精度。JENOPTIK Ergospeed II的使用壽命長、耐用性高、移動速度快,確保在半導體生產和生物醫學應用中實現性能最大化。