二手 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed II #9280754 待售

BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed II是一款高效的晶圓處理器，旨在優化半導體生產中的機器人輔助運動。這個晶圓處理程序是由一個機械臂配備了最小化的最佳品種組件和傳送帶。它能夠執行晶圓探測、加載、晶圓傳輸和卸載等任務。JENOPTIK Ergospeed II由一個具有龍門設備的機器人臂組成，該龍門設備執行晶圓探測、加載、傳輸和卸載。這個龍門機器人系統提供了一個緊湊的設計，具有同時處理多達六個晶片的能力。此外,BROOKS AUTOMATION Ergospeed II的機械臂設計精確度和性能,並采用伺服驅動的接頭進行嚴格的運動。在500 mm x 500 mm的工作區域內可達到+/-0.03mm的精度。Ergospeed II的晶片裝載機部分與堆棧裝卸功能完全集成。裝載機機制的設計允許連續的批量裝載、卸載和存儲多達500個晶圓。另外一種裝置是將晶片放置在傳送帶單元上，在機械臂和裝載機構之間運輸晶片。該傳送帶機采用閉環反應，以確保精確定位和速度高達150毫米每秒。BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed II的其他特性包括其寬廣的工作溫度範圍-10至+40攝氏度，以及密封的入口點，以防止灰塵和其他顆粒進入機組並影響其性能。此外,JENOPTIK Ergospeed II內置了工具維護和診斷工具,以及用於快速設置和配置的直觀圖形用戶界面。BROOKS AUTOMATION Ergospeed II晶片處理程序是半導體生產應用的理想選擇,它結合了緊湊的設計、精確度和強大的性能能力。其最先進的機械臂、裝載機和輸送機資產旨在最大限度地減少機械軸的運動並最大化輸出,同時確保精度和可靠性。