二手 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed II #9280881 待售

BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed II晶片處理器是一款高性能的機器人交付設備，設計用於200 mm和300 mm半導體晶片的自動化生產。這種機械臂用於晶片加工，如光刻、蝕刻、擴散和拋光，以及用於晶片轉移和晶片在不同生產和測試階段之間的運輸。機器人操作通過帶有觸摸屏顯示的圖形用戶界面（GUI）易於控制。處理程序的人體工程學設計使晶片的處理安全高效，同時確保了高質量的最終產品。處理程序配備了內部燈光屏障、緊急停止按鈕等先進的安全功能，以及用於額外保護的互鎖機制。它還有一個整合式雙離合器系統,可以在向前/向後移動之間平穩過渡,以及一個獲得專利的雙關節驅動單元,它允許機器人手臂在所有方向上高精度地移動。該設計還得到了全自動晶片傳輸機的補充,該機消除了手動加載/卸載過程,從而實現了大型晶片生產步驟的自動化。JENOPTIK Ergospeed II晶片處理程序運行在電機驅動的主軸上,該主軸配備了高扭矩扭矩電機和編碼器反饋。這樣可以確保高精度的操作,同時允許快速的晶圓旋轉速度。先進的真空吸收器牢固地固定和傳輸晶片,而不會損壞,而幾個傳感器監視真空壓力,從而確保故障安全和一致的拾取。機器人還配備了多種維護指標，確保處理程序的正確使用。聽覺警報會定期響起，提醒操作員檢查和調整所有安全和控制功能。還提供了一個維護提醒，可自定義以指定何時、何時對機器人進行維護。BROOKS AUTOMATION Ergospeed II晶片處理程序是一款功能強大的機械臂,為自動化生產線中的晶片處理和傳輸提供可靠、高質量的解決方案。