二手 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed LPTS/L #9032628 待售

JENOPTIK Ergospeed LPTS/L Wafer Handler是一款用於半導體加工的符合人體工程學設計、用戶友好的晶圓處理設備。它是當今市場上最可靠和最可靠的晶圓處理程序之一,旨在滿足客戶對流程兼容性、魯棒性和風險緩解的需求。LPTS/L提供了一個非常低調的晶圓處理系統,並具有用於地板或臺式安裝的緊湊設計。它配備了BROOKS AUTOMATION專利的無超氯化物表面保護技術，使其能夠可靠地處理20「和25」 csp晶片，直徑可達8英寸，厚度為7.5微米。該設備的安靜操作少於72dBa,非常適合清潔環境。LPTS/L由鋁和不銹鋼構成，可以安裝在任何潔凈室的桌子或地板上。LPTS/L具有無與倫比的精度和可重復性,晶圓到晶圓的速度為0.02秒,晶圓到杯子的速度為0.1秒,非常適合大容量應用。它具有500克的總提升能力,並具有可選的「證明載荷」功能,可確保加載正確的晶圓和蓋板。該機還具有自動晶片卡帶識別、晶片偏差檢測和校正、自動定位現場驗證等功能。LPTS/L可輕松集成到現有的自動化系統中,具有標準的串行接口和可選的自動晶圓跟蹤工具,可跟蹤晶圓位置以確保高效處理。此外,還可以通過提供特殊的軟件模塊來實施特定於客戶的流程系統。總體而言，BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed LPTS/L晶圓處理程序是現代晶圓處理設備的一個令人印象深刻的例子。低外形設計、低噪聲操作以及卓越的準確性和可重復性使其成為半導體處理應用的理想選擇。此外,用戶友好的操作資產、集成的自動化和特定於客戶的軟件模塊使其成為滿足最高級晶圓處理需求的通用解決方案。