二手 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed LPTS/R #9032627 待售

JENOPTIK Ergospeed LPTS/R晶圓處理器設計用於半導體加工和晶圓制造。這個晶圓處理程序是一個多功能的解決方案,它提供了一整套功能,旨在滿足當今技術先進的半導體制造商不斷增長的需求。LPTS/R在輕量級設計中為用戶提供精確的晶圓傳輸和精確的對齊過程。BROOKS AUTOMATION Ergospeed LPTS/R晶圓處理程序設計有先進的升降機和面板對準設備。升降機和對齊器系統由兩個獨立的組件組成-升降機站和對齊站。升降機站主動將晶片從基座上擡起,以確保在轉移到對齊站時放置準確且可重復。在那裏，對齊站精確對齊晶片，以確保完美的面板轉移。Ergospeed LPTS/R支持多種基板尺寸和形狀,包括環形盒式磁帶、六角形、矩形和方形基板。它還提供帶有關閉機制的負載端口,可配置為手動或自動操作。此外,每個端口都配有可直觀識別加載狀態的LED指示燈,以及用於準確檢測故障或損壞的負載鎖定傳感器。LPTS/R晶圓處理程序設計有幾個附加功能,可提高其性能和可用性。它的升力電動機板由16個獨立的、無刷的電動機組成，以允許更大的直通載荷和更短的循環時間。提升環路結構可幫助處理程序保持300 mm的提升高度。這種設計元素還可以降低設備的功耗。此外,處理程序享有模塊化的單元體系結構,使其能夠輕松交換零件或組件。這樣可以確保用戶維護保持在最低限度,並確保整個計算機以最高效率運行。最後,Ergospeed LPTS/R采用先進的安全機制進行設計,以保護用戶和設備。其雙點機械極限開關有助於保護升降機和面板對準器，而ESD保護則抑制靜態堆積。在緊急情況下,該工具還具有緊急停止、雙聯鎖系統和電源故障警報功能。BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed LPTS/R晶片處理程序是尋求精確晶片傳輸、精確對準過程和可靠安全機制的用戶的理想解決方案。這種多合一解決方案為用戶提供了滿足快節奏半導體行業需求所必需的功能。