二手 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK SLR 200 #9129244 待售

BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK SLR 200晶圓處理器是一種自動化的機器人設備，設計用於半導體制造應用中晶圓的裝卸。該系統可在無菌環境中精確處理晶片。JENOPTIK SLR 200裝有靜電放電（ESD）保護單元，防止晶片因靜電電荷損壞。使用高效的執行器，晶片可以比手動裝卸快2-3倍移出工具。該機能夠達到1820毫米/秒的峰值速度，可以處理100 µm至200毫米大小的晶片。它提供了廣泛的功能，包括允許快速編程的映射工具，以及每分鐘處理多達50個晶圓的能力。該工具旨在提高生產率,具有集成的視覺資產,能夠在一個周期內識別所有晶圓類型和大小。該模型還提供了晶圓放置的高精度，可重復性為0.2mm。BROOKS AUTOMATION SLR 200還可以與其他裝載機/卸載機和真空機器人一起使用，以提高吞吐量。此外，設備還提供多種安全功能，包括緊急停止按鈕和紅外傳感器。這樣可以確保晶片以安全的方式處理。該系統還包括一個直觀的用戶界面，允許易於操作和編程。總體而言，單反200晶圓處理器是半導體制造應用中晶圓裝卸的高效可靠平臺。它能夠處理各種晶圓尺寸、精確的放置和快速的速度,非常適合提高生產效率和自動化。