二手 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Vision #9411478 待售

ID: 9411478
System M/N: 173222-14.
BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Vision是一款高度先進的晶圓處理機器人,專為半自動和全自動過程而設計。它能夠將各種晶圓尺寸從中央卡帶轉移到半導體生產線中的機器人送貨車、激光、批量裝載機、蝕刻機和其他機器。這個機器人被設計成提供非常精確的運動和可靠的提供晶片最小的開銷。JENOPTIK Vision采用先進的BROOKS AUTOMATION Vision系統來識別和跟蹤晶圓的位置和大小,同時其機械臂可以以+/-2.3微米的重復性精度和0.12微米的精度來拾取、輸送和放置晶圓。兩軸轉盤有4000 RPM,傾斜範圍為正負30度。手臂的對角運動由直流電動機提供動力,允許在遠距離快速而精確的運動。此外,機械臂能夠承載34公斤,從而確保可以處理高通量的晶圓。Vision還具有多種安全功能,旨在確保晶圓處理安全進行。其中包括安全額定的經EPS認證的聯鎖裝置,在保護裝置打開時禁用機器人,以及扭矩傳感器和馬達的過載保護。此外,機器人可以很容易地集成到自動化生產線中,因為它采用標準的RS-232連接進行設計,以便與生產線上的其他元素進行通信。BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Vision還可以編程為直接集成到客戶的可編程邏輯控制器中,而無需任何其他軟件。JENOPTIK Vision是一個強大、精確和高度精確的工具,用於處理和轉移晶片,以簡化生產過程。它的一系列功能,包括BROOKS AUTOMATION Vision系統、機械臂、扭矩傳感器、過載保護和安全系統,保證了晶圓的可靠和安全交付以及平穩、高效的操作。
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