二手 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Vision #9411479 待售

ID: 9411479
System M/N: 173222-14.
BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Vision是一款強健的工業級機器人晶片處理器,設計用於處理晶片制造設施內的半導體晶片。它由各種機器人子系統組成,這些子系統集成在一起,為晶圓在處理模塊和階段之間的傳輸提供了一個完整的晶圓處理系統。JENOPTIK Vision機器人機械手設計用於處理各種晶圓。它配有一個四軸機器人手臂,可以抓握和定向晶片,以便在晶片制造設施內運輸。機器人在地板上裝有基於BROOKS AUTOMATION Vision的導航和導航標記,以確保精確放置晶圓。晶圓的位置使用真空進給室監控,該室可以檢測和控制晶圓的相對位置。機械臂由提供精確快速運動控制的高精度伺服電機驅動。機器人還有一個集成的安全系統,能夠檢測和阻止系統中的任何潛在事故。Vision還集成了晶片清潔和預清潔站,該站配備了一個旋轉幹燥器和一個高壓洗衣機,用於清潔晶片。機器人還配備了任務規劃師,能夠同時運行多個晶圓處理程序。此外,BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Vision機器人還能夠對晶圓進行實時監控,並可以借助車載傳感器和攝像頭檢測障礙物、停車和監控安全狀況,檢測任何事故。它內置的軟件功能可以控制不同機器人之間的運動、編程和協調任務,並自動管理位置、速度和程序序列。JENOPTIK Vision還提供通信和數據接口,用於與其他處理設備連接。它是一種高效、精確的晶片處理程序,為晶片的傳輸提供了靈活性、高速和準確性,並為晶片制造設施提供了可靠、集成的自動化解決方案。
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