二手 BROOKS AUTOMATION MTR-5 #9012382 待售

BROOKS AUTOMATION MTR-5是一種精密的晶圓處理程序,專為自動晶圓傳輸和處理而設計.它是一個機器人控制的單元，在晶圓處理室內移動和定向晶圓。它可以被編程為旋轉晶片，拾取和放置它們，並在晶片處理室和存儲模塊或負載鎖定模塊之間傳輸它們。BROOKS AUTOMATION MTR5與多個晶圓處理平臺兼容，使其適合廣泛的晶圓處理要求。MTR 5的垂直觸角可達35厘米，其晶圓處理組件中可容納多達五個晶圓。機器人機械手的速度是可調的，能夠將晶片精確定位在裝卸區。該單元還可以將晶片精確移動到指定的X、Y和Z位置。MTR5還有一個智能真空模塊，防止晶圓因過度處理而損壞。BROOKS AUTOMATION MTR 5配備了快速縮回式真空式噴嘴，可輕輕拾取晶片而不會造成任何劃痕或損壞。晶圓處理設備是為了滿足小規模和大批量生產的要求而建造的。機器人機械手具有精確定位的高精度定位系統.它還具有多種安全特性，如運動感應安全機構來保護單元及其部件。MTR-5還具有板載PLC控制單元,允許靈活編程和個性化操作。它還能夠並行執行多個操作。PLC包括易於使用的觸摸屏用戶界面,便於晶圓處理和監控。機器還具有用於連接外部自動化系統和其他設備的遠程I/O端口。BROOKS AUTOMATION MTR-5旨在提供平穩可靠的晶圓拾取和放置操作。也可用於分類、堆叠、模版印刷、蝕刻、浸塗等不同任務。機器人機械手采用質量最高的部件制造，並附有一年保修。BROOKS AUTOMATION MTR5為晶圓處理操作提供了高效的解決方案。