二手 BROOKS AUTOMATION MTX 2000 #293600562 待售

BROOKS AUTOMATION MTX 2000是一款一流的機器人晶圓處理器,可提供卓越的生產力和性能,以滿足當今半導體處理環境的苛刻需求。MTX 2000旨在以最小的停機時間處理中至大直徑晶圓直徑,確保用戶獲得最佳的產量和最大的成本節約。BROOKS AUTOMATION MTX 2000是一種先進的高速晶圓處理設備,具有冗余軸以及板載診斷和編程系統。頂端裝載機的設計可以快速、準確地裝卸晶圓載波。它還允許在負載端口之間靈活交換部件,以便快速進行設置更改。先進的機器人執行器，直線電機驅動和更智能的軟件控制單元提供幾乎沒有停機晶圓處理。該機器由三個子系統組成：晶圓運動子系統、晶圓緩沖子系統和晶圓傳輸子系統。晶圓運動子系統沿X、Y和Z軸移動晶圓。晶圓緩沖子系統根據晶圓所需的傳輸順序存儲優先級列表。晶圓傳輸子系統在傳送點和響應點之間水平穿梭晶圓。MTX 2000設計用於精確地線程、脫線、對齊、代理、傳輸和重新映射各種大小和重量的晶圓。它還可以按照進入工具的順序快速定位和索引晶片。資產配備了Anti-Pattern、Interlock和Estop功能,這些功能對於安全和安保至關重要。BROOKS AUTOMATION MTX 2000還允許通過其先進的過濾模型減少顆粒物的產生。Brooks's Automation MTX 2000是一個可靠的晶圓處理程序，可以定制以滿足用戶的特定需求。它提供了最大的產量、更高的成本節約和卓越的性能,是超高環境的最佳解決方案。