二手 BROOKS AUTOMATION MTX 2000 #293663057 待售

BROOKS® AUTOMATION BROOKS AUTOMATION MTX 2000是用於高級半導體處理的全自動晶圓處理解決方案。它提供零缺陷晶片傳輸和定位精度，能夠處理50毫米至200毫米的晶片，並通過其托盤式盒式和串聯傳輸設備支持多達8200個晶片。其集成的機器人和輸送機系統是為了滿足客戶對晶圓精確處理和處理的最嚴格的特定要求而構建的。MTX 2000自動晶圓處理解決方案得益於先進的運動控制技術和模塊化單元拓撲。它具有全電動伺服系統和無液壓系統，確保晶圓傳輸平穩、精確，最大限度地提高晶圓吞吐量。它還具有高度精密、無幹擾的安全機器,可確保刀具的安全運行,同時保持高吞吐量速率和嚴格控制晶圓傳輸和定位精度。該資產提供了靈活性和可靠性,具有更快的處理速度和多種晶圓放置的可能性。它還支持腔室到腔室的環境晶片傳輸，並提供高通量密度。此外,它的高級維護功能有助於確保最長的正常運行時間和資源,並減少預防性維護的成本高昂的停機時間。它還具有一個通用的工具更換器，它允許多個機器人技術和工具可以快速、輕松地進行交換。BROOKS AUTOMATION MTX 2000自動晶圓處理解決方案被設計為與一系列設備、烤盤和裝載臂集成在一起,並且可以量身定制以符合客戶的確切工藝要求。它提供各種版本,提供一系列不同級別的自動化和控制。該模型還具有高度的可配置性和可升級性,可實現未來的可擴展性和成本效益。最後,MTX 2000設備得到了著名的BROOKS AUTOMATION服務和支持團隊的支持,提供了數十年的專業知識和可靠的服務,並具有先進的工程和制造能力。