二手 BROOKS AUTOMATION MTX 2000 #9194300 待售

BROOKS AUTOMATION MTX 2000是一款高性能的機器人晶圓處理器，設計用於幾個不同的行業，包括半導體制造和材料處理。這種設備能夠處理各種晶片類型，包括裸晶片、蝕刻晶片或塗層晶片。MTX 2000能夠同時進行拾取和放置操作以及手動加載和卸載晶片。它具有集成的高速機械臂、直觀的用戶界面和板載微控制器,可為不同的應用程序快速輕松地對機器進行編程。BROOKS AUTOMATION MTX 2000專為高吞吐量、準確性和靈活性而設計。它使用直流無刷伺服電機為機械臂供電。這使系統能夠高速、精確地移動手臂。集成的用戶界面可以方便地編程和監視設備的狀態及其操作。該機還有一個集成的PID控制器，可以進行調整，以提供機械臂的精確定位以及刀具的平穩加速和減速。進出資產的晶圓由閘門模型控制。這種閘門設備能夠控制晶片的流動，防止由於負載端口的汙染而造成的交叉汙染。此外,可以將系統配置為接受不同大小的晶片,甚至同時處理兩個不同大小的晶片。集成真空單元也可以用來拾取和移動晶片從一個工藝步驟到下一個工藝步驟。該機還具有多種安全功能，以確保操作正常。它配備了一臺板載計算機，可監控工具的狀態和操作，即使沒有操作員在場也可以操作。此外，資產還具有一系列機械和電氣聯鎖裝置，可防止任何危險情況因模型故障而發生。最後，MTX 2000具有電子控制設備，在編程和控制方面提供了一系列靈活性。該系統可用於為機器配置不同的應用，包括晶片分塊、晶片斷裂、晶片排序等。此外,該單元允許用戶根據其操作的特定要求自定義其性能。