二手 BROOKS AUTOMATION MTX 2000 #9203435 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
BROOKS AUTOMATION MTX 2000是一款高端精密晶圓處理器，適用於包括半導體制造、計量、半導體測試等應用。MTX 2000利用獨一無二的三軸精細運動控制設備，為放置在其溫度控制室中的晶片提供卓越的精度和可重復性。BROOKS AUTOMATION MTX 2000的精細運動控制系統由三臺控制晶圓X-Y-Z定位的直線電動機組成。三個線性編碼器測量並記錄晶圓的確切位置。這個錯綜復雜的單元允許單微米晶片放置精度，並確保MTX 2000晶片傳輸操作之間的重復性。BROOKS AUTOMATION MTX 2000能夠以小於四（4）微米的精度進行晶片裝卸、傳輸和對準。一個大容量的機器人真空夾具有助於精確處理和運輸直徑6-12英寸的晶圓。此外，自動晶圓映射功能簡化了多位置晶圓傳輸的自定義編程。MTX 2000的車載計算機使用圖形用戶界面協調所有晶圓傳輸操作。BROOKS AUTOMATION MTX 2000的編程軟件允許用戶調整工具的傳輸參數，以優化晶圓傳輸速度和精度。晶片加載/卸載資產包括一個基於真空的晶片盒式電源、一個基於真空的z軸升降機和一個輸送帶機構。為確保無汙染晶片的傳輸，晶片盒電源采用氮氣和特殊設計來過濾汙染物。除標準型號外,MTX 2000還提供1類清潔室配置,用於需要額外清潔度和無菌度的應用程序。BROOKS AUTOMATION MTX 2000提供了多種不同的溫度控制、濕度控制和大氣壓力控制功能，以確保處理和處理晶片的理想環境。工作溫度範圍為-40°C至300°C,並在1°C ±內保持精度。MTX 2000的聯合運營使其成為廣泛行業和應用的完美解決方案。
還沒有評論