二手 BROOKS AUTOMATION MTX 4000 #9194301 待售

BROOKS AUTOMATION MTX 4000晶圓處理器是一種自動化晶圓處理設備，設計用於移動半導體晶圓並將其精確放置到加工工具中。它非常適合晶片傳輸、晶片加載以及測試晶片處理、塗層和開封、探測以及模具拾取和放置等應用。MTX 4000配備了先進的傳感器和機械手，用於精確運輸晶片並將其放入加工工具中，以及評估晶片幾何形狀以保證質量。晶圓機械手設計用於驅動晶圓，同時同步控制夾持力和晶圓位置。BROOKS AUTOMATION MTX 4000由基於PLC的邏輯控制系統供電,該系統在晶圓沿其路徑移動時永久監視和控制晶圓的位置。該單元用於對晶片的溫度和位置進行精確調整，使其向載波方向和遠離載波。控制機還具有雙冗余空氣閥，以確保整個工具的壓力均勻一致。MTX 4000還包括幾個安全功能，如可調節的緊急關閉閥和一個完整的資產互鎖。BROOKS AUTOMATION MTX 4000還具有與其他相關硬件和軟件接口的能力，以便集成模型。這包括使用FOUP處理機制、負載端口和卡帶操縱器。OEM接口板提供MTX 4000與其他系統之間的連接，允許用戶發送晶圓配方、協調信號和發送/接收其他控制信號等數據。BROOKS AUTOMATION MTX 4000附帶了幾項附加功能,例如彩色觸摸屏終端、多級密碼保護和多語言支持。它還支持環境監測，利用內置空氣過濾器、壓力傳感器和熱監測等功能。可以針對不同尺寸的晶片配置和定制MTX 4000,並且可以手動或自動模式操作設備。總體而言,BROOKS AUTOMATION MTX 4000晶圓處理器是一種高效可靠的晶圓處理系統,具有先進的傳感器和控制系統,可確保準確性和安全性。其廣泛的特性、靈活性和集成能力使其成為半導體行業晶圓處理應用的理想選擇。