二手 BROOKS AUTOMATION MULTITRAN 5 #197759 待售
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BROOKS AUTOMATION MULTTRAN 5是一款高性能晶圓處理器,旨在滿足要求最苛刻的半導體織物的要求。它是一種完全自動化的SECS/GEM兼容設備,在手動處理程序所需時間的一小部分內,能夠可靠地交付和處理200 mm和300 mm晶圓。MULTTRAN 5具有高精度和重復性,能夠在高通量的生產環境中運行。BROOKS AUTOMATION MULTTRAN 5集成了無刷直流伺服電動機和精密球形螺桿驅動,提供高分辨率的線性運動和可重復、精確的定位。其強大的基於RFID的晶片輸入/輸出功能使系統能夠跟蹤每個晶片的標識並在整個制造過程中監視其路徑。該單元專為在多個負載端口、盒式磁帶、前端存儲器、工具/探針站點和計量設備之間進行高效晶圓傳輸而設計。利用它的伸縮合金軌道和一對獨立的機動托盤,機器可以在其操作區域內的任何點拾取/傳送晶片。MULTITRAN 5具有高度的可擴展性,具有一系列可選功能,包括用於晶圓傳送的多組盒式磁帶接口、用於門控制的機械臂接口、遠程IO和附加托盤。它還具有直觀的用戶界面,可輕松輸入數據、實時診斷和正確的工具設置。此外,其靈活的運動控制資產允許輕松集成到制造環境中,允許在同一模型內並發處理和操作多個晶片。它提供了一個易於使用的圖形用戶界面,允許快速設置設備,並包含一系列選項來配置系統以滿足您的應用程序特定需求。BROOKS AUTOMATATION MULTRAN 5專為在惡劣的晶圓廠環境中運行而設計,可確保可靠性和更長的使用壽命,並提供最低限度的維護。它采用無載波專利設計,消除了與盒式磁帶和載波變形相關的顧慮,減少了對精細晶片的壓力。堅固的結構確保延長使用壽命,減少維護和維修的需要。
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