二手 BROOKS AUTOMATION PRE-200-CE #9194533 待售

BROOKS AUTOMATION PRE-200-CE是用於半導體制造應用的自動化晶圓處理器。自動化設備的設計使晶片能夠精確地進出工藝室，具有高吞吐量和易於擴展的多種應用。PRE-200-CE具有獨特的負載端口設計，可以在機器人和傳輸吊艙之間快速交換晶片。這種高速傳輸功能允許快速的產品轉換和無障礙傳輸。BROOKS AUTOMATION PRE-200-CE采用先進的機器人技術、數字微控制器設計和易於使用的人機界面（HMI）設計。這些功能可以同時加載和卸載晶片,以及用於晶片傳輸的精確運動控制。PRE-200-CE與復雜的晶片管理處理軟件集成在一起,該軟件提供了廣泛的功能來簡化晶片處理。該軟件有助於防止與系統其他機器人和部件的碰撞，允許對晶圓處理任務進行編程，並允許單元監控和報告。BROOKS AUTOMATION PRE-200-CE的核心是它的機器人控制器，它是為高吞吐量和可靠性而設計的。該控制器包括一臺先進的實時操作機器，實現了快速精確晶圓傳輸的重復運動控制。控制器還提供高級診斷、錯誤處理和網絡連接,用於遠程監視工具。PRE-200-CE機器人晶片處理程序的設計外形緊湊，占地面積小，非常適合清潔室使用。它還具有可調尺寸,可滿足不斷變化的制造工藝要求。這款機器人晶片處理程序易於與其他設備集成，如熱處理反應堆、在線檢測系統、支持系統等。總體而言,BROOKS AUTOMATION PRE-200-CE是一種高性能晶圓處理解決方案,可為一系列應用程序提供可靠且可重復的運動控制。其堅固的結構和高通量能力使其成為大容量半導體制造應用的理想解決方案。PRE-200-CE機器人晶片處理程序具有直觀易用的HMI和高級軟件功能,非常適合自動晶片處理過程。