二手 BROOKS AUTOMATION PRE-200-CE #9409375 待售

ID: 9409375
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BROOKS AUTOMATION PRE-200-CE是一款先進的晶圓處理器,旨在滿足半導體和太陽能電池制造業的需求。這種型號是一種完全集成的晶片處理器,帶有真空傳輸臂(VTA)和推動臂(Pusher Arm,PA),使其能夠輸送多種晶片類型,最大可達200毫米。其真空傳輸設備允許精確的晶片處理,而其高速致動系統則確保高效運行。PRE-200-CE通過其基於微處理器的控制器提供高精度和重復性,該控制器使用算法來區分薄晶圓和厚晶圓。其高效的拾取和放置晶片傳輸單元(PWTS)使該機構能夠精確對齊和傳輸不同大小和厚度的晶片。此外,還可以對控制器進行多種程序編程,如陣列和堆叠。機器的功能通過其觸摸屏界面實現自動化,從而簡化了設置、操作和維護。用戶友好的界面還具有集成的配方編輯器和報告機,使用戶能夠自定義晶圓處理過程。該裝置能夠傳輸速度高達500毫米/秒,最高傳輸臂加速度高達12 Gs。它還具有基於壓力傳感器的動態插槽識別、集成視頻監控和許多其他自動化功能。BROOKS AUTOMATION PRE-200-CE在一個超清潔的環境中運作,並被完全屏蔽以保護晶片免受汙染。為確保可靠性,它采用了先進的無軸承驅動工具,並由專門設計的材料制成,以防止腐蝕和磨損。總體而言,PRE-200-CE晶片處理程序是一種功能強大、高效且可靠的工具,能夠處理各種半導體和太陽能電池制造過程,並具有高精度和重復性。它提供了卓越的材料兼容性以及強大的防汙保護,使其成為最具挑戰性的應用程序的理想選擇。
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