二手 BROOKS AUTOMATION Techware 5 Express #293591708 待售

BROOKS AUTOMATION Techware 5 Express Wafer Handler是一款專用軟件和硬件設備,專門設計用於自動將低數量/批量晶圓從一個工藝工具傳輸到另一個工藝工具。此自動化解決方案是小型實驗室和設施或需要低晶圓吞吐量的應用程序的理想選擇。Techware 5 Express Wafer Handlerfeaturessophisated,用戶友好型軟件,以及由專用3軸控制器控制的可靠伺服和步進電機。這提供了對位置、速度和加速度參數進行直接控制的快速、精確的晶片傳輸。該系統軟件還允許在監測實際/目標位置和速度值的同時輕松設置和配置晶片到晶片的移動。此外,該單元還包括用於自動、安全地從負載端口提升晶片的集成的Pick和Place工具,以及用於機械機械臂可選控制的模擬+/-10V輸入。這個晶圓處理程序完全配備了安全功能，包括緊急停止和安全聯鎖，以保護機器免受幹擾。該工具還能夠存儲多達200個用於受控和可重復制造操作的程序。綜合功能安全評估大大提高了資產的安全性和可靠性。例如,在允許運動命令之前,自動機必須處於就緒狀態,輸入和輸出信號必須處於預定的邏輯條件,然後才能發生任何運動。BROOKS AUTOMATION Techware 5 Express Wafer Handler具有堅固的結構,配有不銹鋼煤礦和塗漆的底板,設計時維護和保養效率都很低,而且幾乎可以立即投入使用。這款晶片處理器性能卓越,速度達到1m/s,可重復性為+/-0.05mm,是半導體制造過程中批量傳輸的理想解決方案。Techware 5 Express Wafer Handler具有直觀的用戶界面和高級安全功能,是滿足自動化需求的正確選擇。