二手 BROOKS AUTOMATION VAC-409 #293641123 待售

BROOKS AUTOMATION VAC-409是一種晶圓處理程序,旨在快速高效地運輸、操作和交付基於半導體的材料集。這臺多功能機器可用於多種應用，從簡單的機器人材料處理到復雜的真空輔助重工藝步驟。該機采用真空端口、高精度伺服電機和接口組件的獨特組合，提供可靠和可重復的性能。它的模塊化設計允許在各種各樣的過程中操作，例如模具去除、分類、計量和其他高級材料處理。VAC-409能夠處理有效載荷高達250克的1"、2"、4"、6"和8"晶片,無論方向如何。它還具有可拆卸的真空電源和可用的液溫控制與EMC材料集.機器人X軸總行程範圍為250毫米，Y軸總行程範圍為126毫米，使其能夠在所有方向拾取、攜帶和沈積材料集。它的長壽命真空泵提供靜態和動態真空控制與驅動扭矩的選擇，使力控制和系統的靈活性。優化了BROOKS AUTOMATION VAC-409的設計,減少了磨損,提高了精度.該機具有低慣性伺服電機，采用非接觸式線性編碼器，為晶片提供超精確的運動。整個系統都配備了人性化的工具，便於維護。VAC-409是半導體材料加工應用的理想選擇。它為各種材料集和工藝提供了出色的支持,提供了可靠的性能和出色的可重復性。無論是用於簡單的機器人材料處理,還是用於復雜的真空輔助工藝步驟,BROOKS AUTOMATION VAC-409都是一個可靠可靠的解決方案。