二手 BROOKS AUTOMATION VAC407 #9211501 待售

BROOKS AUTOMATION VAC407是設計用於半導體制造過程的晶圓處理器。VAC407是一種自動化設備，用於在加工工具之間交換晶片，例如蝕刻器和熔爐，以及通過機械臂交換晶片盒。BROOKS AUTOMATION VAC407可以處理九和十二英寸晶圓，以及八、十二和十六英寸晶圓，厚度可達200微米。系統通過運行在觸摸屏面板上的用戶友好圖形用戶界面（GUI）操作。這使得運算符很容易修改工藝配方的參數。可以調整的參數包括晶圓的位置和方向、晶圓速度和加速度、不同工具之間的行進時間以及使用的真空和壓力水平。VAC407配備了兩個用於交換晶片的獨立機械臂，允許處理工具和晶片盒之間同時進行轉移。機組配備真空拾音器，將晶片保持在正確的方向進行交換。此外，機器有獨特的映射算法，保證準確的傳輸。BROOKS AUTOMATION VAC407配備了功能強大的Cognex Vision Tool，用於定位和驗證晶圓盒和工具。這樣可以確保機器人手臂始終正確識別晶片並與正確的晶片盒和正確的處理工具進行交換。VAC407還配備了用於防止機器人碰撞、環境汙染和異常過程條件的綜合安全資產。該型號包括強大的氣動和軟件安全功能，如自動工具關閉和緊急停止按鈕。設備還具有自動診斷功能,可自動檢查任何異常情況並在觸摸屏上進行指示,確保系統能夠安全運行。BROOKS AUTOMATION VAC407是一個可靠、用戶友好的晶片處理程序,可確保在處理過程中進行準確的傳輸並防止晶片汙染。該單元還配備了強大的安全功能和自我診斷功能，使其高度可靠，降低了故障的可能性。