二手 BROOKS AUTOMATION VacuTran 5 #9013390 待售

ID: 9013390
VTR5 transfer robot 001-7600-04.
BROOKS AUTOMATION VacuTran 5是一款先進的自動化晶圓處理器,用於半導體制造。VacuTran 5包含多個特定於流程的選項,這些選項可根據客戶需求定制。構建在靈活平臺上的BROOKS AUTOMATION VacuTran 5適用於多種半導體應用,包括晶圓傳輸、晶圓分選、原位晶圓處理、晶圓回收等。VacuTran 5由兩個主要組成部分組成:一個裝有傳輸機制的基本單元和一個裝有軟件和用戶界面的控制器模塊。基座單元由堅固的框架、機動運輸導軌和容納晶圓運輸車的滑動抽屜組成。運輸車由鐵軌上的輪子引導,由電動機推拉。電動傳動系統設計為無論晶片大小和形狀如何,都能提供優化的性能。控制器模塊包含軟件引擎和用戶界面。該軟件旨在方便晶片的運輸和操作。它包括一個自動化的設置過程,包括分析晶片的大小和形狀,選擇最佳的傳輸速度以及晶片跨度的模式。自動晶片對齊器確保晶片在運輸前的準確定位,消除任何潛在的錯位。此外,BROOKS AUTOMATION VacuTran 5獨特的晶片成形組件也可以用來重新成形和解調晶片。VacuTran 5提供多種安全功能,包括用於調節溫度和濕度的內置環境控制系統,以及在人員移動或操作過度時檢測和警報人員的安全傳感器。BROOKS AUTOMATION VacuTran 5也是唯一具有全自動晶片裝卸功能的晶片處理器。系統安全準確地分配晶片,能夠同時處理大小晶片。總體而言,VacuTran 5提供了一個健壯可靠的平臺,方便對半導體晶片進行高效準確的處理,使其成為工業應用的理想選擇。BROOKS AUTOMATION VacuTran 5具有自動運輸和用戶友好軟件等功能,可為任何半導體生產線提供高性能、多功能性和安全性。
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