二手 BROOKS AUTOMATION VTR-5 #293666638 待售

BROOKS AUTOMATION VTR-5 Wafer Handler是一種用於在晶圓處理設備內移動和操縱晶圓的設備。它能夠進行單面或雙面晶片處理操作,節奏高達每分鐘800次移動。VTR-5安全地在盒式磁帶、反應器、掩模對準器、烤箱和離子植入器之間運輸晶片。它有一個可選的晶圓輸入/輸出穿梭器，用於以更高的速度輸送晶圓。BROOKS AUTOMATION VTR-5具有模塊化的橋架組件,支持單面和雙面晶圓裝卸操作。它易於集成的晶圓穿梭設計，允許機器人裝卸和快速晶圓傳輸。控制電子設備具有按鈕用戶界面,並顯示LED/LCD,指示給定組件何時處於傳輸模式或錯誤模式。VTR-5有兩級設計，以確保晶圓保護和精確的晶圓操作。第一階段是用一塊無毛絨的布包裹在晶圓莢周圍，以防止顆粒汙染。第二階段涉及使用敏感的晶片定位設備，該設備允許夾緊、定位和旋轉晶片。這種敏感的操作使晶片相對於對齊寄存器標記的放置更加準確。晶片處理機構由三連桿型材組成，可進行精確的晶片處理。此三連桿型材由步進電機驅動，可處理50至300毫米不等的晶圓尺寸。BROOKS AUTOMATION VTR-5還具有較大的晶片裝卸區，有助於減少破損和汙染。晶圓處理程序由模塊化自動協議載波（MAPC）程序控制。該程序存儲用戶定義的配方，並提供易於使用的圖形用戶界面，以快速編程和控制晶圓處理操作。通過RS-485協議啟用與各種設備的通信。該系統由Allen-Bradley PLC供電，安全插入三相電源。VTR-5 Wafer Handler是一種高度可靠和靈活的工具,用於在廣泛的晶圓處理應用中處理晶圓。自動化操作有助於確保晶圓運動的精確度、準確性和控制,同時有助於減少顆粒汙染和物理損壞的可能性。憑借其廣泛的特性和功能，這款晶圓處理程序是實驗室、半導體、集成電路制造公司等組織中晶圓處理任務的絕佳選擇。