二手 BROOKS Magnatran 7 #293604921 待售

BROOKS Magnatran 7是一種自動化晶片處理設備，旨在提供高吞吐量、最大效率和可靠的單棧和雙棧晶片配置處理。它的自動化和靈活性使其能夠用於從研發到大批量生產的環境中。該系統有一個晶圓處理區域，各種寬度的晶圓在C型工廠配置中處理。晶片在頂部或底部支撐物中加工,直徑範圍從150毫米到300毫米不等。晶片使用兩個夾具和軋輥系統牢固地固定在適當的位置，同時在垂直軌道上上下運輸。晶片是手動或通過自動加載程序/卸載程序放置和卸下的。在操作時，該單元執行旋轉塗層、灰光、邊緣珠密封、烘烤和幹燥等多個工藝步驟。Magnatran 7由具有高速和精確位置精度的專有伺服電機驅動。這使機器能夠快速加速和減速晶片軌道，確保晶片在任何時候都以正確的時間和速度移動。而且，機器有能力在需要停止時精確檢測和調整晶片軌道的位置，使其適合高速運行。此外,BROOKS BROOKS Magnatran 7還提供了許多高級控制功能和過程,包括對工具事件和參數設置的監控,以確保可重現的過程性能和產量。它還具有錯誤恢復消息功能,在材料丟失之前警告晶圓處理錯誤。該機器還配備了全面的故障檢測資產和一系列安全功能，有助於減少發生物理事故的機會。總體而言,Magnatran 7提供可靠、準確和高吞吐量的操作,並具有易於配置的微處理環境。它非常適合廣泛的晶圓加工應用，從研發到大批量生產。