二手 BROOKS / PRI AUTOMATION 002-7090-05 #9111115 待售

BROOKS/PRIA AUTOMATION 002-7090-05是一個先進的晶圓處理器，在晶圓處理上是為了卓越的精度和速度而設計的。它是一個高通量晶圓處理程序，優化了許多不同材料的總處理時間。此處理程序基於Reactive Single Wafer Loadlock,它提供了更大的靈活性和可重復性。晶片卡帶到卡帶的傳輸提供了無與倫比的吞吐量速率。較大的晶圓尺寸功能允許更快的吞吐量時間,以及處理不同晶圓尺寸的能力。采用集成的機器視覺系統，可以快速、準確地實現晶片對準各種尺寸的晶片。PMOS晶圓對準器特性允許更精確的晶圓取向，設計既健壯又可靠。此外,BROOKS 002-7090-05還提供了一種傳送帶式機器人,無需手動卸下、重新定位晶片並將其加載到處理程序上,從而提高了整個過程的效率。集成的臂端模具允許精確的晶圓處理,而不會影響精度。這對於更細膩的晶片尤其重要。PRI AUTOMATION 002-7090-05還包括多個接縫模塊、工藝溫度同步、運動控制軸選擇器等幾個高級控制功能。這些功能允許更快、更可靠的晶圓處理。高級數據記錄功能還確保準確記錄所有進程數據並輕松檢索。002-7090-05是一款可靠的晶圓處理程序,提供卓越的性能和準確性。其高度先進的系統設計和集成的特性，使得許多不同類型的晶片能夠快速一致的處理。由於維護要求低，通量能力高，是許多不同晶圓處理應用的理想選擇。