二手 BROOKS / PRI AUTOMATION 105151 #9267821 待售

BROOKS/PRI AUTOMATION 105151晶片處理器是一種頂級設備設備，用於在實驗室和其他潔凈室環境中處理、處理和運輸半導體晶片。該系統在從薄膜沈積到光刻到計量的一系列半導體制造應用中提供精確的晶圓處理操作，並提供光密實驗室外殼以保護晶圓不受汙染。晶片處理機由一個主單元、自動裝載機端口、晶片輸送機、真空機器人、機械手臂陣列、90°角升力和晶片托盤以及空氣執行器和控制系統組成。主單元容納機器人和其他部件，以創建一個可檢索的密封傳遞室，並保持一致的溫度和濕度環境。自動加載端口有效、準確地管理晶圓輸入和卸載過程。它是一個完全機械的單元，旨在最大限度地減少粒子產生和汙染。輸送機將晶片、盒式磁帶和托盤通過腔室進行裝卸,從而實現盒式磁帶和/或托盤之間晶片的無縫傳輸和處理。在晶圓傳輸過程中,機械手的手臂在機器人模塊內遵循編程的路由。武器的特點是內置防護裝置，以防止意外接觸晶片，安全傳感器在發出警報時關閉操作元件。90°角升力由驅動器、升力和旋轉器組件組成,它們將晶片從托盤電平機械傳輸到機器人電平。晶片托盤是一種智能設備,它可以將盒式磁帶、托盤和/或晶片從機器人中取出,並將其傳輸到托盤級別。空氣執行器和控制系統提供自動化序列控制，並為每個臂坐標運動提供單個執行器系統，以盡可能高的精度到達預定位置。BROOKS 105151晶片處理程序的設計旨在確保晶片運輸的高精度，而不影響實驗室的清潔度。其先進的自動化機器提供可靠的晶片處理功能，而內部腔室則提供高度清潔和受控的環境，有助於保護晶片免受汙染並保持一致的工作溫度。