二手 BROOKS / PRI AUTOMATION 5850C #9144548 待售

BROOKS / PRI AUTOMATION 5850C
ID: 9144548
Mass flow controller.
BROOKS/PRI AUTOMATION 5850C是一種自動化晶片處理程序,旨在在各種半導體制造過程中快速移動和操作晶片。機器人設備進行精確的晶圓處理,以保持工藝性能和產生高設備產量。該系統由一個工作站運行,能夠控制多達4個晶圓機器人。BROOKS 5850C的設計可靠,可優化各種半導體制造環境中的生產率。機器人提供了一個超精確的運動控制單元,在所有軸上可重復的精度在0.001mm左右。這樣可以對晶片進行微小的修改,並實現可靠的設備性能。該機配有視覺引導檢測機,利用預編程參數實現晶圓的快速分選。機器人能夠自動測量晶圓的半徑和直徑,甚至對晶圓邊緣進行自動檢查。保護性晶片室設有過濾器和真空/氮交換能力,使機器能夠完成晶片處理操作而不受汙染。該工具還具有具有多種功能的直觀用戶界面,例如集成過程控制的配方編程。機器人使用先進的制造技術可以提高速度、精度和可靠性。此外,模擬和建模可用於解決過程問題,而自動校準功能可確保機器人的性能隨著時間的推移得到維護。簡而言之,PRI AUTOMATION 5850C晶圓處理器是一種智能、高效的機器人,旨在快速、準確地完成半導體制造中的各種晶圓加工任務。通過將先進的過程控制與可靠的運動控制資產相結合,機器人能夠及時產生較高的設備產量。
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