二手 BROOKS / PRI AUTOMATION 5850E #9263562 待售

BROOKS / PRI AUTOMATION 5850E
ID: 9263562
Mass flow controller Type: D H2 30 SCCM.
BROOKS/PRIA AUTOMATION 5850E Wafer Handler是一種最先進的設備,設計用於安全處理和傳輸高溫半導體晶片,並在大中型晶片生產操作中最大化晶片吞吐量。這個晶圓處理程序能夠處理範圍從2-6英寸的晶圓尺寸,用於制造各種電子設備的各種應用。該機擁有集成視覺設備,以盡可能高的精度提供精確的晶圓定向和定位。BROOKS 5850E包括高扭矩6軸機械手臂以及電動平移,使機器人能夠快速完成生產晶圓移動操作。它還具有一個工具更換器系統,它提供了在最多三個不同的晶圓夾緊工具之間輕松切換的靈活性。這為用戶提供了廣泛的晶圓處理選項。此外,它還具有內置減振技術,以最大程度地減少晶圓在運輸過程中的損壞,以及一個專利的載荷在飛行中晶圓夾緊單元。該機器還帶有安全功能,以保護人員以及其他機器和部件。其中包括一個內部存儲模塊泄漏檢測工具,該工具具有一系列跳閘點,如果存儲模塊被破壞或檢測到熱晶圓,這些跳閘點將立即停止資產。它還具有一個自我監控模型,該模型將在設備的任何傳感器檢測到問題時向用戶發出警報。PRI AUTOMATION 5850E Wafer Handler是一個先進可靠的系統,它將速度、靈活性、準確性和安全性完美結合在一起。它是為任何商業或研究的半導體晶圓處理應用而設計的通用工具,並確保為用戶提供多年的可靠和無故障的操作。
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