二手 BROOKS / PRI AUTOMATION 5850E #9263576 待售

BROOKS型號BROOKS/PRI AUTOMATION 5850E Wafer Handler是一種精密自動化設備,設計用於在半導體制造環境中及周圍安全、準確地處理和移動晶片。該處理程序可可靠地將晶片從一個裝卸站運輸到另一個裝卸站,在潔凈室或晶片制造環境中安全使用。模型BROOKS 5850E由晶圓處理子系統、機器人子系統和外圍子系統三個主要組成部分組成。晶圓處理子系統是晶圓機器人與其相關外圍設備之間的接口，負責控制晶圓在整個制造過程中的處理。其設計目的是使用彈簧加載的擒縱機構和清潔工具來拾取和沈積晶片，從而對晶片進行安全、安全的處理。模型PRI AUTOMATION 5850E的機器人子系統執行在其傳輸系統中移動晶片的任務。它由一個高速、兩軸機器人組成，處理能力為十二個150毫米（6英寸）晶圓和四個200毫米（8英寸）晶圓。該機器人裝有高速直流伺服電動機，可實現精確一致的運動，能夠在0.3秒內達到780mm/秒的速度，同時從0加速到全速。機器人采用+-0.04mm的位置精度。模型5850E的外圍設備子系統包括晶片制造所需的所有組件,如晶片裝載機和卸載機、伺服驅動器、晶片探針、晶片傳輸托盤以及各種其他夾具和附件。此子系統旨在確保所有相關的外圍設備無縫工作,並且不會有其他組件成為汙染或運輸錯誤的來源。最後,PRI AUTOMATION模型BROOKS/PRI AUTOMATION 5850E Wafer Handler是一個先進的自動化單元,旨在在半導體制造工廠內和周圍安全、準確地處理和移動晶片。它允許以+-0.04mm的位置精度進行精確一致的運動，並具有以780mm/sec的速度傳輸多達16個晶圓的能力。該機器的設計目的是確保所有相關的外圍設備都是無源的，並且運行時不會受到汙染或錯誤。