二手 BROOKS / PRI AUTOMATION 5850E #9263589 待售

BROOKS/PRI AUTOMATION 5850E是半導體生產設施的通用可靠晶圓處理器。它的全自動操作使它能夠在處理過程中快速準確地移動晶片。BROOKS 5850E由兩個獨立的256步步進/伺服電機軸系統提供動力。每個軸設備都能精確定位晶片，步進分辨率低至1.3微米。處理程序最多可配備三個晶片托盤，使其一次最多可容納四十八個200 mm或六十六個150 mm晶片。它還可以容納多達四個500毫米晶圓。PRI AUTOMATION 5850E還標配兩個負載鎖,每個負載鎖都有自己的機械、氣動和真空系統。這使處理程序能夠快速準確地將晶片加載/卸載到晶片托盤中,減少因大容量處理而導致的停機時間,並減少顆粒汙染。5850E還配備了多種安全功能，如可編程緊急停止裝置、可選光束探測器和傳感器陣列。這些功能提供了額外的保護級別,並確保所有操作都能順利、安全地運行。BROOKS/PRI AUTOMATION 5850E的控制機器由一個可編程邏輯控制器（PLC）組成，它使用戶能夠輕松創建可重復、可編程的進程。這允許在短時間內定制處理大量晶片。用戶還可以通過計算機的圖形用戶界面（GUI）訪問參數數據,並訪問用於運行進程和創建新進程的預定義配方。BROOKS 5850E是用於半導體生產設施的高效、準確、可靠的晶圓處理器。其可調節的托盤工具、負載鎖、安全功能和直觀的控制資產使其成為大容量處理的理想選擇。