二手 BROOKS / PRI AUTOMATION 5850E #9263590 待售

BROOKS/PRI AUTOMATION 5850E是一種通用的晶片處理程序,專為及時可靠地處理晶片組件而設計。此自動化工具可在一個周期內精確處理多達12個晶片,包括加載、傳輸和卸載。BROOKS 5850E還允許使用多達6個用於研磨和拋光的主軸進行精確的研磨、拋光和去毛刺操作。專用的四軸晶片操作系統允許晶片的精確定位，從而能夠在容器之間進行快速和準確的傳輸。先進的運輸系列機器人配備了陶瓷刷子和吸盤，用於精確的晶圓處理。其氣動夾具為自動化裝卸過程提供高效的力控制。PRI AUTOMATION 5850E具有直觀的軟件平臺,允許客戶配置自動化配方、最大限度地提高吞吐量和流程可重復性,並啟動手動操作。它支持使用實時配方管理（RRM）功能,包括配方修訂、調試和模擬。該系統配備了穩健的安全措施，確保操作員安全和一流性能。其堅固的安全特性包括腔室互鎖、單循環反向互鎖、制動能力以及每個晶片托盤的速度控制和限速開關。5850E是一個令人印象深刻和全面的晶片處理系統，使客戶能夠自信地處理晶片的準確性和一致性。該自動化平臺非常適合大批量生產周期,為高效可靠的晶圓處理提供了卓越的準確性和可重復性。