二手 BROOKS / PRI AUTOMATION 5850E #9263592 待售
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BROOKS/PRI AUTOMATION 5850E是一款先進的晶圓處理器,用於微電子學、半導體和太陽能電池制造工藝。它旨在在廣泛的制造環境中提供高精度、低粒子生成和可靠的操作。BROOKS 5850E具有集成的微處理器控制操作,可實現復雜的過程控制和易於維護。該系統能夠處理各種晶圓,如平面、矩形和口袋。它還具有先進的功能和安全功能,如實時狀態檢測、進程停止源控制和緊急真空關閉。PRI AUTOMATION 5850E具有自動晶片加載和交付、1-360°晶片旋轉、晶片分選以及滿足大批量生產要求的刻錄功能。它還提供了廣泛的處理功能,並且能夠為某些應用程序處理雙面晶片。5850E包括一些組件,以確保正常運行。真空室由不銹鋼制成,具有低顆粒產生的氣體凈化能力。采用電氣動系統產生真空和壓力,用於晶圓處理。機器人手臂配備了速度、扭矩、加速度控制,用於精確的晶圓輸送和放置。BROOKS/PRI AUTOMATION 5850E旨在提高制造過程的性能和減少停機時間。它與眾多的過程控制系統兼容,允許輕松集成到當前的生產系統中。其直觀的用戶界面還允許方便的設置和操作。它還具有高級診斷功能,可幫助識別和解決制造過程中出現的問題。BROOKS 5850E是先進晶圓處理程序和較小的生產運行的理想解決方案。它可靠,在一系列應用程序中提供卓越的性能。它采用最新技術設計,以確保在微電子學、半導體和太陽能電池制造過程中取得成功。
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